真空蒸着複合コーティング装置は、電子ビーム蒸着とイオン支援蒸着 (IAD) 技術を統合し、マルチプロセス複合コーティングをサポートしています。-、高精度の光学フィルムの作製に適しています。-この装置には低温トラップとデュアル電子銃システムが装備されており、真空度の限界は<5.0×10⁻⁶ Pa, and the uniformity of the film layer is controlled within ±1%. The vacuum evaporation composite coating equipment can simultaneously be compatible with AR film, AF film and metal decorative film, meeting the multi-functional coating requirements of complex optical devices.
技術的な利点:
・真空蒸着複合コーティング装置は全自動膜厚制御システムを採用しており、調光モードと結晶制御モードの両方をサポートしています。
· The composite process reduces the stress of the film layer and enhances the adhesion of the hard coating (>5N);
· モジュラー設計により、迅速なソース交換が可能になり、研究と量産の両方の要件を満たします。
応用分野：レーザーデバイス、光センサー、半導体パッケージングなど
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