真空蒸発複合コーティング装置

真空蒸発複合コーティング装置は、電子ビーム蒸発とイオン支援堆積（IAD）技術を統合し、マルチプロセスコンポジットコーティングをサポートし、高精度の光学膜調製に適しています。機器には、低温トラップと二重電子銃システムが装備されており、制限真空があります<5.0×10⁻⁶ Pa, and the uniformity of the film layer is controlled within ±1%. The vacuum evaporation composite coating equipment can simultaneously be compatible with AR film, AF film and metal decorative film, meeting the multi-functional coating requirements of complex optical devices.

・真空蒸発複合コーティング装置は、光制御モードとクリスタル制御モードの両方をサポートする完全に自動フィルムの厚さ制御システムを採用しています。

· The composite process reduces the stress of the film layer and enhances the adhesion of the hard coating (>5N);

・モジュラー設計により、迅速なソース交換が可能になり、研究と大量生産の両方の要件を満たします。

アプリケーションフィールド：レーザーデバイス、光学センサー、半導体パッケージなど。