PVDコーティングマシンの主なコンポーネントには、次の部分が含まれています。
真空チャンバー：高い真空条件下でコーティングプロセスを実行する必要があります。真空チャンバーは、チャンバー内の高い真空状態を維持するための重要な部分です。通常、ステンレス鋼またはその他の腐食耐性材料でできており、ガス漏れを避けるために内部は特別に処理されます。
ターゲット供給システム：ターゲットは、蒸発またはイオンビームの原因を生成するために使用されます。ターゲット供給システムは通常、ターゲット温度とターゲット表面の蒸発速度を制御するためのヒーター、ターゲットホルダー、センサーで構成されています。
補助加熱システム：一部の特別な場合、コーティング効果を改善するには追加の暖房が必要です。補助加熱システムは、通常、ヒーターと加熱装置で構成されており、追加の加熱エネルギーを提供できます。
基質の備品：通常はフィクスチャーフレームとフィクスチャで構成される、コーティングする基板を固定するために使用されます。備品は、加熱エネルギーを基質に均等に伝達できるように、良好な熱伝導率を持つ必要があります。
排気システム：真空チャンバー内のガスを除去して、高い真空度を維持するために使用されます。一般的に、機械式ポンプ、分子ポンプ、拡散ポンプなどの複数のポンプの組み合わせが含まれています。
制御システム：コーティングプロセス全体を監視および制御するために使用されます。温度制御、真空モニタリング、ターゲット蒸発速度制御などを含む。一部の高度なPVDコーティングマシンには、自動制御システムも装備されています。
