電子ビーム真空蒸着装置

この電子ビーム真空蒸着システムは、高融点金属、酸化物、誘電体の物理蒸着 (PVD) を実行します。{0}{0}{1}集束電子ビームを水冷銅製ハースに向けることにより、このシステムはチャンバー壁を低温に保ちながら、局所的な温度を最大 3000 度まで高め、るつぼの相互作用を防ぎ、膜の純度を維持します。{3}

クリーンルームの研究開発と工業生産向けに設計されたこのアーキテクチャには、高真空チャンバー、マルチポケット電子銃、プログラム可能なビーム偏向、リアルタイムの膜厚モニタリングが統合されています。{{0}

270度の磁気偏向:電子ビームを湾曲させてエミッタ フィラメントを蒸発プルームから遠ざけることで、フィラメントの劣化を防ぎ、実行時間を延長します。-

プログラム可能なビームスイープ:マイクロプロセッサ-制御のコイルが蒸発物表面全体にエネルギーを分散させ、クレーター、小結節の形成、吐き出しを抑制します。

連動冷却マトリックス:温度センサーとフロースイッチがるつぼ、ポンプ、電源を監視し、しきい値を超えた場合に自動停止をトリガーします。

荒々しい列車:オイルフリーのルーツブロワーと多段ドライスクリューポンプ-により、炭化水素の逆流を発生させずにベースライン真空を確立します。

高-真空列車:極低温ポンプと空気圧ゲートバルブを組み合わせることで、水蒸気とプロセスガスの排気速度を高速化します。

計装:ピラニおよび熱陰極電離計は、PLC 安全インターロック マトリックスに直接リンクされています。{0}

蒸発材料:

高融点金属:Ti、Cr、Ta、W、Mo、Al

酸化物とフッ化物:SiO2、TiO2、Ta2O5、Al2O3、HfO2、MgF2

導電性フィルム:金、銀、白金

素材フォーマット:光学ガラス、溶融石英、シリコンウェーハ（200mm/300mm）、金属超合金。カスタム ツールは、平面光学部品、レンズ、または 3D コンポーネントに対応します。

精密光学:反射防止コーティング、エッジフィルター、レーザーリフレクター。

マイクロエレクトロニクス:導電性シード層、接着層、半導体コンタクトパッド。

表面工学:航空宇宙部品用の遮熱コーティング (TBC)。

チャンバーのサイズ:パイロットバッチまたは大量生産に合わせて容器の容積を調整します。

ハイブリッド統合:熱源または RF/DC マグネトロン スパッタリング カソードとの組み合わせ。

制御アーキテクチャ:レシピ管理と監査証跡ロギングによる PLC{0}} ベースの自動化。

真空漏れの検出:ヘリウム質量分析計のテスト (< 1 x 10^-10 Pa·m³/s threshold).

電気監査:高電位絶縁破壊試験と接地導通検証。-

工場受け入れテスト (FAT):ベースライン堆積実行により、速度の安定性と QCM 精度が検証されます。

オンサイトでの設置:{0}配置されたサービスエンジニアによる機械的調整、真空漏れチェック、およびシステム校正。

オペレータートレーニング:真空のトラブルシューティング、フィラメント交換、レシピ構成を網羅した体系化された実践的な説明。-

ライフサイクルサポート:重要な交換部品は世界中に即時発送できるように在庫されています。