PVD複合薄膜システム

マグネトロン スパッタリング (RF/DC/HiPIMS) と陰極アーク蒸着を統合した工業用グレードの真空コーティング システム。{0}生産規模での連続、多層、合金、ナノ-複合薄膜-の堆積用に設計されています。

デュアル-テクノロジーの統合:スパッタリング (滑らかなアモルファス化合物膜) と陰極アーク (高イオン化金属/合金の堆積) を 1 つのポンプダウン サイクルで組み合わせます。-

クローズドループガス管理:-マス フロー コントローラー (MFC) と発光モニタリング (OEM) を組み合わせると、反応性ガスの分圧が安定します。

機械的絶縁:多軸遊星ドライブは機械ベアリングをプロセス ゾーンから隔離し、粒子による汚染を防ぎます。{0}

熱アーキテクチャ:二重壁-水冷-チャンバー壁と放射線シールドにより、高出力動作時の熱歪みを防止します。-

オートメーションコア:Siemens S7-1500 PLC および WinCC SCADA アーキテクチャにより、リアルタイムのインターロック、ガス、および電力を監視できます。

荒々しい列車:磁性流体シールを備えたルーツ ブロワーを備えたダイレクトドライブのロータリー ベーン ポンプ。{0}}

高真空:磁気浮上ターボ分子ポンプ（1200 - 3200 L/s）または極低温ポンプ。{0}

診断:統合されたヘリウム質量分析計のテストポートと自動シーケンスインターロック。

対象物質:
金属:Ti、Cr、Al、Zr、Cu、TiAl、CrAl、Si

セラミックス/コンパウンド:TiN、CrN、TiAlN、DLC、Al2O3、SiO2

基材:工具鋼 (H13、M2、超硬インサート)、チタン/アルミニウム構造合金、エンジニアリング セラミックス、シリコン ウェーハ。

切削工具:低摩擦、高硬度の多層コーティング（TiAlN/TiN）-により、乾式高速加工下での工具寿命が延長されます。-

自動車:ピストン リングと燃料噴射ピンの摩耗および擦り傷防止コーティング。-

航空宇宙:コンプレッサーのブレードとファスナーに耐酸化性-の遮熱フィルムと保護フィルムを施します。

光学およびエレクトロニクス:導電性透明酸化物 (ITO) および光学干渉フィルター。

チャンバーの形状:バッチラックローディング用の長方形ボックス構成または円筒形インラインジオメトリ。

ソースの改造:現場でCFUBMSに変換するための交換可能なカソード取り付けフランジ。

プラズマエッチング:カウフマン-型イオン銃またはホローカソード源（現場での基板洗浄用）-。

真空の完全性:ヘリウムリークテストの閾値<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

表面仕上げ:チャンバーの内部溶接は Ra まで電解研磨-<= 0.4 um.

脂肪：梱包前に、真空、動作、安全インターロック ループの 72- 時間の連続ドライラン テストを実施。

準拠基準:CE 機械指令および ISO 9001 規格に準拠して構築されています。 (信頼バッジアイコン: ISO 9001、CE、UL)

ドキュメント バンドル:P&ID 回路図、電気配線図、PLC ソース ロジック、および CE/UL 準拠関係書類。

試運転：フィールドエンジニアは、機械的な位置決め、ユーティリティの接続、漏れチェックの検証を監督します。

SAT とレシピの引き継ぎ:-オンサイトでのベースライン テストの実行とレシピの最適化。